MEMS压力传感器的工作原理及特点解析

MEMS     压力传感器   又称机油压     力传感器   ，在日常生活中也有普遍的应用，那么MEMS压力     传感器   究竟是如何进行工作的呢？产品有哪些特点？下面工控小编来给大家介绍一下MEMS压力传感器的工作原理及特点。希望对大家有所帮助！

MEMS压力传感器（     Mi   cro Elect     rom   echanical Sys     te   m，即微电子     机械   系统）是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制     电路   、     接口   电路、通信和电源于一体的微型机电系统。

MEMS压力传感器的工作原理

目前的MEMS压力传感器有硅压阻式压力传感器和硅     电容   式压力传感器，两者都是在硅片上生成的微机械电子传感器。

硅压阻式压力传感器是采用高精密半导体     电阻   应变片组成惠斯顿     电桥   作为力电变换     测量   电路的，具有较高的测量精度、较低的功耗和极低的成本。惠斯顿电桥的压阻式传感器，如无压力变化，其输出为零，几乎不耗电。

MEMS硅压阻式压力传感器采用周边固定的圆形     应力   杯硅薄膜内壁，采用MEMS技术直接将四个高精密半导体应变片刻制在其表面应力最大处，组成惠斯顿测量电桥，作为力电变换测量电路，将压力这个物理量直接变换成电量，其测量精度能达0.01-0.03%FS。

电容式压力传感器利用MEMS技术在硅片上     制造   出横隔栅状，上下二根横隔栅成为一组电容式压力传感器，上横隔栅受压力作用向下位移，改变了上下二根横隔栅的间距，也就改变了板间电容量的大小，即△压力=△电容量。

MEMS压力传感器的特点

MEMS压力传感器可以用类似     集成电路   的设计技术和制造工艺，进行高精度、低成本的大批量生产，从而为消费电子和工业过程控制产品用低廉的成本大量使用MEMS传感器打开方便之门，使压力控制变得简单、易用和智能化。

传统的机械量压力传感器是基于金属弹性体受力变形，由机械量弹性变形到电量转换输出，因此它不可能如MEMS压力传感器那样，像集成电路那么微小，而且成本也远远高于MEMS压力传感器。

相对于传统的机械量传感器，MEMS压力传感器的尺寸更小，最大的不超过一个厘米，相对于传统“机械”制造技术，其性价比大幅度提高。

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