半导体微影光源制造商GIGAPHOTON推出FABSCAPE平台

据中央社报道，半导体微影光源制造商GIGAPHOTON公布，自2018年3月推出对半导体制造装置进行监控与数据解析的“FABSCAPE™”后，获得了很不错的反响，到2019年1月为止，有7家主要半导体制造商决定采用此项产品。

Gigaphoton公司成立于2000年，作为一家激光器的供应商，自成立以来一直为全球的半导体生产厂商提供有价值的解决方案。Gigaphoton时刻以客户为中心，从产品研发到生产、销售及维护，为用户提供业界最高水准的支持。小松制作所的雷射技术历史滥觞，可上溯至1980年开始销售用于引擎燃烧诊断的 CARS（Coherent Anti-Stokes RamanSpectroscopy：染料雷射=Dye Laser）系统。此后，小松製作所转而研发准分子雷射，1985 年推出日本首部准分子雷射装置 KLE-630，1987 年推出全球首台曝光用准分子雷射装置 KLE-630S。

FABSCAPE™是一个开放式的平台，可以搜集和解析半导体制程中各种装置的运转数据，有效地解决各种各样生产力相关的问题。导入FABSCAPE™之后，客户的工厂与GIGAPHOTON的各个服务据点通过网络相互连接，可以即时监控各项装置的数据并进行数据解析。今后我们将推出解决使用者个别问题的应用程序，致力于所有装置运用的效率化。

GIGAPHOTON董事长兼CEO的浦中克己先生表示，FABSCAPE™已得到导入此项产品的顾客的好评，我相信一定也能让未来有导入计划的顾客满意。GIGAPHOTON今后也将对提升顾客生产力做出贡献。