压阻式压力传感器的原理解析

压阻式     压力传感器   利用单晶硅的压阻效应而构成，又称扩散硅压     力传感器   。压阻式     传感器   广泛地应用航天、航空、航海、石油化工、动力     机械   、生物医学工程、气象、地质、地震     测量   等各个领域。

压阻式压力传感器采用单晶硅片为弹性元件，在单晶硅膜片上利用     集成电路   的工艺，在单晶硅的特定方向扩散一组等值     电阻   ，并将电阻接成桥路，单晶硅片置于传感器腔内。

当压力发生变化时，单晶硅产生应变，使直接扩散在上面的应变电阻产生与被测压力成比例的变化，再由桥式     电路   获得相应的电压输出信号。

压阻式压力传感器具有精度高、工作可靠、频率响应高、迟滞小、尺寸小、重量轻、结构简单、便于实现显示数字化等特点，而且可以测量压力，稍加改变，还可以测量差压、高度、速度、加速度等参数。
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