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MEMS加速度计工作原理介绍
774
加速度计原理
1.1 加速度计由MEMS 传感器 与信号处理芯片组成。
1.2 MEMS加速度计工作原理
由上 电容 、中电容板(可移动)、下电容板等组成；当加速度达到一定值后，中电容板会移动，与上、下电容板的距离就会变化， 上、下电容因此变化。电容变化跟加速度成比(如下面公式)，通过对输出电压数字处理后，输出数字化信号。
如图：
公式：(1) Vs = ( (Cs1-Cs2)/(Cs1+Cs2) ) * Vm ;输出电压为电容电压变化部分；vm(输入电压)
(2) 由容的定义可得出电容的大小与位移之间的关系：
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