MEMS传感器的概念

MEMS全称为微型电子     机械   系统（     Mi   cro-Electro-MechanicalSys     te   m），是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来，融合了微     电子加工   工艺和精密机械加工等技术制作的微米级电子机械器件，涉及微电子、机械、材料、力学、化学、生物学等诸多学科领域。

MEMS被广泛用于     传感器   领域，常见的产品包括MEMS加速度计、MEMS麦克风、微     马达   、微泵、微振子、MEMS     压力传感器   、MEMS     陀螺仪   、MEMS湿度计以及它们的集成产品，广泛应用于消费电子、汽车、医疗、工业、通信、国防和航空航天等领域。

MEMS传感器在结构上主要由微型传感器、微电子控制器、执行器和电源组成。

我们日常接触最多的消费电子产品中，MEMS传感器正被广泛的应用。一个智能手机中的MEMS传感器就有声学、     光学   、环境、运动、通信、安全和交互等，这些传感器使得电子设备更具互动性和智能化。